Module de détection de pyrolyse Py-ReX

de gazélectrochimique

Le module pyrolyseur Py-ReX est un complément au détecteur de gaz D-ReX PoS, qui utilise sa pompe intégrée pour la détection de gaz extractifs. Utilisé en combinaison avec le Py-ReX, le D-ReX est capable de détecter des gaz trop toxiques ou trop chimiquement inactifs pour être mesurés directement. Détection de gaz à l'aide d'un pyrolyseur L'utilisation d'un pyrolyseur élargit les possibilités de détection des gaz dans la fabrication des semi-conducteurs et facilite le respect de normes de qualité strictes tout en optimisant les processus de fabrication. Pour tout processus nécessitant la mesure de gaz qui sont soit trop toxiques, soit trop inactifs sur le plan électrochimique pour être mesurés directement, un pyrolyseur est essentiel. S'appuyant sur les capacités du D-ReX PoS, le Py-ReX a été développé pour détecter ces gaz en mode extraction. Il est monté entre le point d'échantillonnage et le détecteur de gaz. Le gaz à mesurer est alors guidé à travers le pyrolyseur à l'aide d'une pompe, avant d'atteindre le capteur à l'intérieur du D-ReX, où il est mesuré après la fin de la pyrolyse. Comment fonctionne la pyrolyse ? Un pyrolyseur dissout le gaz d'origine (gaz cible) en un gaz qui peut être mesuré (gaz mesuré). Cette étape est nécessaire pour mesurer certains gaz, car ils ne peuvent pas être détectés sans elle. La concentration du gaz mesuré peut ensuite être utilisée pour calculer la concentration du gaz cible. Le Py-ReX est un pyrolyseur à filament. Un filament placé dans un tube en verre de quartz est chauffé à une température spécifique qui est précisément ajustée au gaz cible.