l'unité d'ultravide sans huile est composée d'une pompe turbomoléculaire, d'un robinet-vanne ou d'un robinet d'équerre, d'un tuyau de raccordement, d'électrovannes, d'un vacuomètre et d'une pompe à vide à spirale sans huile GWSP dans une unité intégrée pour le pompage de l'ultravide sans huile.
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