Les étalons de silicium solides sont souvent utilisés comme compensateurs de dispersion accordables et comme discriminateurs de fréquence optique. Un réglage rapide et une distribution uniforme de la chaleur peuvent être obtenus en contrôlant les propriétés de transmission de l'étalon par la modulation de l'indice de réfraction.
Les étalons solides sont deux plaques parallèles mais avec un revêtement spécial pour créer la cavité. Les cavités de haute qualité permettent une transmission plus élevée, une taille compacte et un coût moindre. Ces étalons ont le potentiel d'un seuil de dommage élevé et sont particulièrement bons pour une utilisation intercavitaire.
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