Matériaux pour l'imagerie positive par voie sèche et par immersion, et pour le développement de tons négatifs (NTD)
Large gamme de systèmes d'imagerie à haute résolution pour l'exposition à 193 nm, y compris l'imagerie positive par voie sèche et par immersion et le développement de tons négatifs (NTD)
- Haut débit
- Résolution supérieure
- Fenêtres de traitement étendues
- Faibles niveaux de défauts
- Profils verticaux
- Série GAR
Les produits de la série GAR sont adaptés à un large éventail d'applications nécessitant une exposition sèche à 193 nm
- Série FAiRS pour PTD
Les produits de la série FAiRS sont adaptés à un large éventail d'applications nécessitant une exposition par immersion à 193 nm et un développement de tonalité positive
- Série FAiRS pour NTD
Les produits de la série FAiRS sont adaptés à un large éventail d'applications nécessitant une exposition par immersion à 193 nm et le développement de tons négatifs
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