Système de mesure d'épaisseur MicroProf® MHU

de planéitéde rugositérobotisé

L'outil de métrologie FRT MicroProf® MHU avec unité de manutention, est spécialement conçu pour les industries des semi-conducteurs, MEMS, saphir et LED. Les applications typiques sont les mesures de plaquettes nues et revêtues, ainsi que de plaquettes structurées à différentes étapes du processus lithographique. Grâce à un bras robotisé doté de deux effecteurs de vide, l'outil a un débit très élevé, jusqu'à 220 plaquettes par heure. Il est capable de traiter des plaquettes de 2 à 8 pouces. Il est possible de traiter jusqu'à 4 cassettes ouvertes et, en outre, il est possible d'intégrer un pré-aligneur et un lecteur OCR. L'option de mesure d'échantillons sur deux faces permet de mesurer simultanément la surface supérieure et inférieure avec détermination de l'épaisseur de l'échantillon, de la variation totale de l'épaisseur (TTV) et de divers paramètres de surface tels que la rugosité, l'ondulation et la planéité des deux faces. Une mesure complète de la forme de la plaquette est également possible avec l'analyse des paramètres globaux et locaux de la plaquette. Une fonction de tri des plaquettes est disponible et peut être ajustée en fonction des besoins du client. Sur la base de la technologie SurfaceSens, des capteurs supplémentaires peuvent être installés ultérieurement. Une autre application du MicroProf MHU est la détermination de l'épaisseur des couches de films minces, ainsi que des empilements de couches, la mesure de la hauteur des marches, des bosses, des vias (TSV), des tranchées, etc.