Système de mesure 3D MicroProf® FE

pour wafer

Le FRT MicroProf® FE est l'outil standard de métrologie 2D/3D des plaquettes de silicium de FormFactor, entièrement automatisé. Il combine les capacités du MicroProf 300, déjà bien établi, avec un système de manipulation des plaquettes dans un module frontal d'équipement (EFEM). Avec des solutions de métrologie entièrement conformes aux normes SEMI et des composants matériels ne nécessitant pratiquement aucune maintenance, permettant une inspection à haut débit, le MicroProf FE est la solution de métrologie dans toute usine HVM frontale. En plus de la configuration standard, le FRT MicroProf FE peut être équipé de nombreuses fonctionnalités supplémentaires, qui peuvent également être mises à niveau ultérieurement.