Système de mesure pour wafer TESLA300

pour semi-conducteurmicroscope

Le système avancé de sondes de puissance pour semi-conducteurs sur plaquette TESLA300 est une solution intégrée de test à haute puissance qui permet de collecter des données de mesure précises de haute tension et de courant élevé jusqu'à 3 kV (triaxial) / 10 kV (coaxial) et 200 A (standard) / 600 A (courant élevé), en toute sécurité pour l'opérateur. Le TESLA300 offre des capacités d'automatisation de laboratoire et permet d'effectuer des mesures électriques de forte puissance pour la caractérisation des dispositifs, l'ingénierie en grande série et les applications extrêmement difficiles. Il est également parfaitement adapté aux solutions personnalisées, aux applications de production de niche et aux marchés émergents. La technologie brevetée AttoGuard intégrée au TESLA300 améliore considérablement les mesures à faible fuite et à faible capacité. En combinaison avec la technologie brevetée de mandrin thermique TESLA FemtoGuard™ de FormFactor, le TESLA300 fournit un environnement de test entièrement protégé et blindé. Le mandrin haute puissance TESLA FemtoGuard intègre également la technologie MicroVac™ permettant une faible résistance de contact, la manipulation de tranches minces et une dissipation de puissance maximale.