Microscope pour wafer MPS150

optiquepour inspection de surfacebinoculaire

Personnalisez votre station de sonde 150 mm sur la base de modules flexibles à un prix incroyable ! FormFactor présente un nouveau concept modulaire pour ses stations de palpage de 150 mm, les meilleures de leur catégorie. Il sera ainsi encore plus facile de configurer votre solution de sonde individuelle pour les besoins actuels et futurs à un prix incroyable. Il suffit de choisir une station de base et d'ajouter autant de kits de démarrage spécifiques à l'application que vous le souhaitez. Test paramétrique Coax - DC jusqu'aux niveaux pA - Plateau mobile avec réglage de la hauteur de 40 mm, course de contact/séparation de 200 μm et répétabilité de ± 1 μm - Plateau à mandrin avec friction réglable et verrouillage de plateau, réglage unique du mandrin en Z et sortie de 90 mm - Positionneurs magnétiques avec résolution des caractéristiques de 1 μm et 3 axes linéaires avec roulement à billes de précision Triax - Mesures à faible bruit jusqu'aux niveaux fA - Stéréomicroscope : grossissement 15x-100x avec grand champ de vision et monture c prête pour la caméra - Quatre bras de sonde triax et des câbles triax de haute qualité - Blindage contre la lumière/EMI (en option) - Option de mise à niveau pour les mesures de niveau fF - Mandrin TRIAX avec rotation du mandrin ±8 thêta fin, trois zones auxiliaires, surface du mandrin avec une planéité de ±5 μm pour une force de contact et une surcourse constantes - Mesures d'est en ouest et du nord au sud avec une seule configuration Test RF jusqu'à 67 GHz - Trois technologies de sonde disponibles : Sonde Infinity, sonde ACP, sonde |Z| - Câbles et substrats correspondants inclus - Plateau RF à planéité de surface de ±3 μm - Course unique de contact/séparation du plateau de 200 μm avec une précision de ≤± 1 μm pour un contact répétable - Logiciel d'étalonnage WinCal XE