Appareil de contrôle de semi-conducteur

Face aux entreprises de fabrication de matières premières en amont et aux entreprises de fabrication de plaquettes en milieu de chaîne de l'industrie des semi-conducteurs, le système de détection optique à champ clair et à champ sombre développé de manière indépendante est utilisé pour détecter les défauts d'apparence des matières premières semi-conductrices, des plaquettes épitaxiales et des plaquettes à motifs. Avantages du produit : - Applicable à une grande variété de plaquettes Convient aux plaquettes de 4 à 8 pouces, aux substrats, aux plaquettes épitaxiées et aux plaquettes à motifs - Peut détecter une grande variété de défauts Détecte les particules, les piqûres, les bosses, les rayures, les taches, les fissures et autres défauts - Haute résolution Résolution du système : 1-10 μ m - Vitesse de détection rapide Pas de modèle de gaufre : 180 secondes / plaquette lorsque le nombre de défauts est inférieur à 200