Le système GWI a été conçu pour détecter les défauts des plaquettes de verre au début du cycle de production. Le système est basé sur une caméra intelligente à haute résolution pour répondre à la précision requise dans la détection des défauts.
L'évaluation complète du wafer se fait dans la caméra intelligente. La photo de la plaquette de verre est prise et traitée immédiatement dans l'appareil photo. Les données et les images qui en résultent sont transférées à l'automate programmable.
Il est également possible de connecter un écran à la caméra pour voir les résultats à l'écran.
Pour exécuter le processus d'évaluation, la connexion Ethernet, RS232 et Power I/O est disponible. La Power I/O contient également l'interface RS232.
Le système GWI détecte les erreurs de surface des plaquettes de verre telles que les rayures, les particules et les erreurs de substrat.
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