Système de lithographie UV-NIL EVG®7300

La nouvelle solution multifonctionnelle de micro- et de nano-impression d'EV Group offre une flexibilité sans précédent pour la fabrication de dispositifs optiques en grand volume L'EVG®7300 est la solution la plus avancée d'EVG pour combiner plusieurs procédés UV, tels que la lithographie par nanoimpression (NIL), le moulage de lentilles et l'empilage de lentilles (collage UV), sur une seule plate-forme Le système de nanoimpression et d'optique au niveau des plaquettes EVG®7300 SmartNIL® est une solution polyvalente et avancée qui combine plusieurs capacités de processus basés sur les UV sur une seule plateforme. EV Group (EVG), l'un des principaux fournisseurs d'équipements de collage de tranches et de lithographie pour les marchés des MEMS, des nanotechnologies et des semi-conducteurs, a présenté aujourd'hui le système automatisé SmartNIL® EVG®7300 pour la nanoimpression et l'optique au niveau des tranches. L'EVG7300 est la solution la plus avancée de la société pour combiner plusieurs capacités de traitement par UV, telles que la lithographie par nanoimpression (NIL), le moulage de lentilles et l'empilage de lentilles (collage UV), sur une seule plate-forme. Ce système multifonctionnel, prêt pour l'industrie, est conçu pour répondre aux besoins avancés de R&D et de production pour une large gamme d'applications émergentes impliquant la micro- et la nano-impression ainsi que l'empilement de couches fonctionnelles. Ces applications comprennent l'optique au niveau de la tranche (WLO), les capteurs et projecteurs optiques, l'éclairage automobile, les guides d'ondes pour les casques de réalité augmentée, les dispositifs biomédicaux, les méta-lentilles et les méta-surfaces, ainsi que l'optoélectronique. Prenant en charge des tailles de plaquettes allant jusqu'à 300 mm et offrant un alignement de haute précision, un contrôle avancé du processus et un débit élevé, l'EVG7300 répond aux besoins de fabrication en gros volume de divers composants et dispositifs nano- et micro-optiques de forme libre et de haute précision.