Ligne de traitement pour l'industrie agroalimentaire EVG®120

pour wafers

L'EVG®120 est un système compact et économique de traitement des résistances pour le démarrage de la production lorsque l'espace des salles blanches est limité. Le nouvel outil de traitement de réserve universel et entièrement automatisé EVG120 est capable de traiter différentes formes et tailles de substrats jusqu'à 200 mm/8". Cette nouvelle génération d'EVG120 se présente sous la forme d'un nouveau design ultra-compact avec une nouvelle armoire chimique pour le stockage externe des produits chimiques tout en offrant une capacité de traitement accrue, optimisée pour les besoins des clients à haut volume et prête à être utilisée dans la fabrication à haut volume (HVM). L'EVG120 offre aux utilisateurs un ensemble d'avantages que l'on ne trouve dans aucun autre outil et garantit les normes de qualité les plus élevées dans divers domaines d'application à un coût d'exploitation remarquablement bas. Caractéristiques Tailles de wafers jusqu'à 200 mm Conception ultra-compacte pour un encombrement minimal Jusqu'à 2 chambres de vernissage/développement et 10 plaques chauffantes/réfrigérantes Des combinaisons polyvalentes de modules multifonctions pour l'essorage et l'enduction par pulvérisation, le développement, la cuisson et le refroidissement offrent de grandes possibilités dans de nombreux domaines d'application Armoire chimique pour le stockage externe de produits chimiques La technologie d'atomisation par ultrasons OmniSpray® exclusive à EV Group fournit des résultats de traitement inégalés lorsqu'il s'agit du revêtement conforme des topographies extrêmes Couvercle rotatif CoverSpinTM pour une faible consommation de résine photosensible et une uniformité optimisée du revêtement de la résine photosensible La technologie Megasonic pour le nettoyage, le traitement sonochimique et le développement améliore l'efficacité du procédé et réduit le temps de traitement de quelques heures à quelques minutes Une manipulation robotisée sophistiquée et éprouvée sur le terrain avec une capacité de double effecteur final assure un débit élevé continu