Jauge à vide capacitive à membrane CDG100D

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CDG100D Les manomètres INFICON SKY CDG100D sont votre meilleur choix pour mesurer et contrôler avec précision la pression totale. Les jauges CDG100D sont contrôlées à une température de 100 °C pour des performances supérieures dans les procédés exigeants de semi-conducteurs et de plasma. Ils sont disponibles pour des gammes complètes de 100 mTorr à 1000 Torr, avec tous les types de brides et d'interfaces de bus de terrain courants et fournissent un signal de pression linéaire de 0 à 10 V, indépendant du type de gaz. Les manomètres capacitifs INFICON utilisent un diaphragme en céramique d'alumine ultra pure qui est résistant à la corrosion. Les avantages du capteur céramique sont une meilleure stabilité du signal, une récupération plus rapide de l'atmosphère, un temps de réchauffement court et une durée de vie extraordinaire. Les INFICON CDG sont des capteurs de pression de haute qualité et rentables pour des applications exigeantes dans le domaine des semi-conducteurs, du plasma et du vide. Avantages Coût de possession (CoO) plus faible, réchauffement 50 % plus rapide, faible consommation d'énergie Intégration facile, grande variété d'échelles complètes, de brides et d'interfaces, standard avec deux points de consigne Commande zéro facile à l'aide d'un bouton poussoir ou d'un signal à distance, décalage du zéro réglable Port de diagnostic pour un service et une maintenance rapides Garantie de deux ans, durée de vie plus longue grâce à un concept de chauffage avancé et à la protection des jauges Pas de recalibrage à long terme en raison de l'excellente stabilité et répétabilité du signal, même dans les applications plasma difficiles Conformité et normes : CE, EN, UL, SEMI, RoHS Demandes typiques Gravure, CVD, PVD et autres procédés de production de semi-conducteurs Processus chimiques et corrosifs à haute température Procédés généraux de films minces et de vide nécessitant une protection des jauges