Jauge à vide active BAG402

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BAG402 Jauge à vide moyen à ultra-élevé La jauge d'ions chauds simple Bayard-Alpert BAG402 d'INFICON couvre une large gamme de mesures allant de 5×10-10 mbar à 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr à 5×10-2 Torr). Choisissez l'INFICON BAG402 pour des mesures de pression de base abordables et reproductibles dans un ensemble compact de jauges actives. Les doubles filaments uniques et supportés offrent une précision, une longévité et une stabilité supérieures. Avantages Plage de mesure de 5×10-10 mbar à 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr à 5×10-2 Torr) Excellente répétabilité dans la plage de pression de processus de 10-8 ... 10-2 mbar de 5% La détection de la surpression protège le filament d'un épuisement prématuré Deux filaments d'iridium revêtus d'oxyde d'yttrium de longue durée La sélection automatique du courant d'émission réduit la complexité du contrôle L'élément de détection facile à échanger avec les données d'étalonnage embarquées garantit une grande reproductibilité Conformité à la directive RoHS Demandes typiques Mesure de la pression dans les chambres de traitement et de transfert des semi-conducteurs Revêtement industriel Mesure et contrôle du vide général dans la plage du vide faible à ultravide