Jauge à vide capacitive à membrane CDG025D

avec capteur céramiquenumérique

CDG025D La gamme de manomètres à membrane capacitive INFICON SKY CDG025D à compensation thermique de haute précision est conçue pour offrir des performances stables dans les environnements difficiles des outils de fabrication. L'électronique numérique avancée améliore les performances des jauges et offre des fonctions faciles à utiliser, comme la fonction zéro à bouton-poussoir et le réglage du point de consigne. Le capteur en céramique résistant à la corrosion offre une excellente stabilité du zéro avec une longue espérance de vie de plusieurs millions de cycles de pression, y compris les sursauts atmosphériques. Un blindage unique du capteur (brevet en instance) protège la jauge de la contamination du processus. Une conception mécanique robuste et une électronique numérique améliorent la compatibilité CEM, la stabilité à long terme et la compensation de température. Le CDG025D établit de nouvelles normes pour une stabilité rapide après la mise sous tension et un rétablissement rapide après une exposition à la pression atmosphérique. Avantages La pleine échelle va de 100 mTorr ... 1000 Torr Une stabilité rapide après la mise sous tension Rétablissement rapide de la pression atmosphérique Capteur céramique résistant à la corrosion Excellente stabilité du signal à long terme Compensation de la température Capteur protégé contre la contamination Un bouton-poussoir à fonction zéro Alimentation électrique à large gamme Demandes typiques Équipements de fabrication de semi-conducteurs pour la gravure, le dépôt chimique en phase vapeur, le dépôt physique en phase vapeur et l'analyse de l'ADN Équipement de fabrication de stockage et d'affichage de données Équipement industriel de vide Mesure générale de haute précision de la pression