UL1000 Fab
Détecteur de fuites à hélium sec UL1000 Fab
Une nouvelle dimension de la stabilité et de la réactivité sur les fuites jusqu'à 10 -12 atm/css. L'INFICON UL1000 Fab Mobile Helium
Le détecteur de fuites est spécialement conçu pour répondre aux exigences des applications de semi-conducteurs. Grâce à sa facilité d'utilisation, à son efficacité de détection des fuites et à sa mobilité au sein du système de l'environnement de la fab, la Fab UL1000 offre une réponse extrêmement rapide du taux de fuite sur toutes les plages de mesure.
L'UL1000 Fab offre une stabilité du taux de fuite jamais vue jusqu'à < 5×10-12 atm cc/s grâce à une architecture du vide optimisée qui combine une vitesse de pompage de l'hélium élevée et des pressions d'entrée élevées. Le logiciel propriétaire, I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm of Leak Rates), permet d'oublier les longs temps de réponse dans les plages de faible taux de fuite, car l'UL1000 Fab répond rapidement à toutes les plages de taux de fuite.
Avec l'ajout de l'accessoire TC1000, le détecteur de fuite d'hélium UL1000 Fab permet de tester facilement, rapidement et précisément les pièces hermétiquement scellées comme les boîtiers de circuits intégrés, les cristaux de quartz et les diodes laser (selon la norme MIL-STD 883, méthode 1014).
Caractéristiques
large gamme de mesures sur 15 décennies
un temps de réponse et de démontage court
un boîtier mobile entièrement métallique pour plus de commodité et une maniabilité sans compromis
I-CAL pour garantir un temps de réponse rapide aux fuites dans toutes les gammes de mesure
fonction zéro avec alignement automatique du temps d'intégration pour des résultats de tests rapides et fiables
conception intelligente du vide avec une pompe à spirale robuste et une pompe turbomoléculaire à entrées multiples qui fournit une vitesse de pompage de l'hélium élevée avec une compression élevée
---