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L'INFICON Edge Capacitance Diaphragm Gauge est un instrument de mesure du vide de haute précision conçu pour les environnements de fabrication difficiles. Le capteur en céramique ultra-pure, résistant à la corrosion et à la température contrôlée, qui a fait ses preuves, offre une stabilité de portée supérieure pendant de nombreuses années, associée à une stabilité zéro de pointe. Le Edge est livré avec le bouclier de capteur unique breveté par INFICON qui protège la jauge des sous-produits indésirables du processus. L'électronique avancée offre une large gamme de conditionnement de signaux configurables pour toutes les applications et une interface de bus de terrain EtherCAT en option. Le concept de chauffage innovant permet de refroidir la surface de contact et de gagner un espace précieux pour l'outil. L'INFICON Edge est le plus petit instrument de mesure du vide de son genre.
Avantages
Compact, il permet d'économiser un espace précieux pour les outils
Intégration facile, EtherCAT, grande variété d'échelles complètes et de brides, standard avec deux points de consigne
Commande zéro facile à l'aide d'un bouton poussoir ou d'un signal à distance, décalage du zéro réglable
Port de diagnostic pour un service et une maintenance rapides
Garantie de deux ans, durée de vie plus longue grâce à un concept de chauffage avancé et à la protection des jauges
Pas de recalibrage à long terme en raison de l'excellente stabilité et répétabilité du signal, même dans les applications plasma difficiles
Conformité et normes : CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Demandes typiques
CVD, gravure, PVD et autres procédés de production de semi-conducteurs
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