Axe rotatif à entraînement direct DXRH

pour semi-conducteurde précision

La DXRH est un axe rotatif à roulement mécanique de 1 DOF offrant des performances exceptionnelles en termes de précision. Doté d'un encodeur de 360'000 lignes et de caractéristiques mécaniques inégalées, directement comparables à une solution à palier à air sans la complexité associée, la DXRH est dotée en son cœur de la technologie d'encodeur et de roulement d'HEIDENHAIN et d'un moteur ETEL sans dent à entraînement direct évitant ainsi l'ondulation de couple. Entièrement compatible avec les interfaces standards d'ETEL, le module DXRH est disponible en tant que module autonome ou intégré à la gamme de systèmes ETEL. Il permet également une mise à niveau des performances pour toutes les applications basées sur DXR+ sans aucun redesign, les interfaces étant identiques. Le module rotatif DXRH peut être intégré aux plates-formes CHARON2 et VULCANO2. Il apporte une rigidité élevée, une haute précision, un niveau de propreté élevé ainsi qu'une faible déformation induite thermiquement grâce à sa conception en acier inoxydable. En se concentrant sur la simplification des applications des semi-conducteurs, le module reste à la hauteur de tous les marchés et besoins divers nécessitant des solutions pour une rotation de haute précision. Adapté à diverses applications et industries, le module rotatif DXRH est particulièrement adapté aux applications de "Wafer control" telles que "Overlay metrology", "Critical dimension", "Thin film metrology" ainsi que la photonique.