Système de positionnement architecture empilée VULCANO2

2-3 axesà pontpour l'inspection de Wafer et métrologie

VULCANO2 est notre architecture de portique à axes empilés qui combine nos célèbres moteurs à noyau d'acier, nos roulements mécaniques et nos encodeurs optiques haut de gamme pour offrir une grande performance géométrique à une dynamique élevée. Par rapport à notre famille CHARON2 à axes empilés, le VULCANO2 offre principalement un cycle de travail et des capacités de charge utile plus élevés. Son empreinte compacte optimise la rentabilité sans compromettre le débit et les cycles de travail. Qu'il soit standard ou personnalisé, le VULCANO2 garantit une répétabilité et une précision constantes, même en cas de fonctionnement prolongé. Cette plate-forme est idéale pour les applications qui requièrent de la précision, telles que la métrologie des superpositions et les processus de flip-chip sur de grandes plaques. Caractéristiques Jusqu'à 6 degrés de liberté Alimentation en vide intégrée et câbles de signal client au niveau du mandrin Voici les principales caractéristiques Stabilité de la position au nanomètre Garantit la précision du positionnement sur des périodes prolongées. Compatibilité avec les salles blanches ISO 2 Convient aux environnements contrôlés avec des exigences strictes en matière de propreté. Correction de l'inclinaison avec le module combiné Z3TM+ Permet un réglage précis pour un positionnement optimal. Fonction Z grossier avec le module combiné Z3TM+ Mécanisme de levage électrique supplémentaire de 12 mm pour permettre le chargement et le déchargement des plaquettes. Alimentation en vide intégrée au niveau du mandrin Facilite un fonctionnement efficace en assurant une manipulation correcte des matériaux. Temps de déplacement et de stabilisation courts Réponse et stabilisation rapides pour une productivité accrue.