Support antivibratoire amortisseur de vibrations actif QUIET active isolation system

rectangulaire

UNE NOUVELLE SOLUTION POUR ISOLER LES VIBRATIONS Le système d'isolation actif, appelé QuiET, est un nouveau module supprimant les vibrations provenant aussi bien du sol que du système lui-même, et ceci dans les 6 degrés de liberté. Cela permet ainsi d'éviter de perturber le processus en cours sur le système proprement dit. La plupart du temps, les applications haut-niveau dans le domaine du semi-conducteur intègrent un équipement complexe, qui d'une manière ou d'une autre, est relié au granite du système. En tant que tel, chaque vibration au niveau du granite engendre des imprécisions et un temps de stabilisation rallongé au niveau de l'outil du processus. Grâce à la solution d'ETEL, se débarrasser de ces perturbations n'a jamais été aussi efficace! REPOUSSER LES LIMITES DE LA PERFORMANCE Grâce à un capteur propriétaire à faible bruit et une architecture de commande du mouvement homogène, entièrement numérique et basé sur un bus de communication 1 Gb (TransnET), ETEL a réduit les temps de mouvements et de stabilisation à des valeurs sans précédent. Avec une précision de régulation de l'accélération par anticipation supérieure à 99%, moins de 1% de l'énergie produite par un mouvement du système de positionnement reste au niveau de granite! La masse du granite sur le système d'isolation actif peut donc être maintenue à un faible niveau, ce qui réduit l'encombrement et de la masse globale, tandis que les outils de traitement bénéficient directement d'un environnement plus calme.