Pour les applications les plus exigeantes, ETEL a développé une gamme unique de contrôleurs de position de très haute performance appellé AccurET VHP. Cette gamme de produit est équipé d'un hardware et d'un software spécifiques qui maximisent les performances.
Les contrôleurs de position AccurET VHP sont compatibles avec tous les autres contrôleurs AccurET et peuvent être dédiés aux axes les plus exigeants d'un système de positionnement multi-axes. C'est en fait la même architecture décentralisée que celle utilisée pour les modules AccurET. Ceci permet qu'une partie importante du logiciel de contrôle de la machine soit localisée au niveau de l'axe. En plus des avantages des contrôleurs ETEL comme par exemple la puissance de calcul, le bus de communication rapide et en temps réel et les algorithmes de contrôle, la gamme VHP d'ETEL fourni un rapport signal sur bruit exceptionnel.
Les AccurET VHP sont utilisés avec succès dans les domaines suivants:
- Processus de contrôle
- Inspection de wafer
- Lithoghraphie
- Wafer and die level packaging
- Test et contrôle d'équipement