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Système de purification pour gaz GateKeeper
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Caractéristiques
- Spécifications
- pour gaz
Description
Systèmes de purification de gaz GateKeeper
Les séries de supports GPS (HX, DX et Z2) délivrent une gamme de gaz purifiés en parties par billion (ppt) à un faible coût de possession
Débits maximaux allant de 311 SLM à 932 SLM
Les applications incluent les outils de lithographie par immersion, la production de semi-conducteurs et de LED
Les purificateurs se régénèrent automatiquement, garantissant un flux continu de gaz pur
La conception compacte utilise un minimum d'espace au sol pour assurer des économies de coûts d'installation
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.