Épurateurs de gaz en bloc de GateKeeper® 200M
Haut-coulent la purification de gaz
Fournit uniformément le gaz d'ultrapure
Conçu pour l'usage avec CDA ou gaz inertes
Gardes contre des transitoires d'impureté des réservoirs de stockage liquides et de la qualité contradictoire de gaz d'approvisionnement
Ne libère pas les hydrocarbures qui peuvent souiller le processus
Technologie de purification de la température ambiante d'utilisations - aucune puissance ou chaleur requise
Haut-coulent la purification de gaz
Matériaux de construction :
316L acier inoxydable, Ra 10 electropolished
Médias :
Modèle SS200MI : Nickel métallique
Modèle SS200MZ : Inorganique
Gaz épurés :
Modèle SS200MI : N2, il, Ne, Kr, AR, halocarbures, hydrocarbures légers
Modèle SS200MZ : CDA
Pureté de sortie :
Modèle SS200MI : Ppb H2, Co, CO2 du N2 <1 ; ppt <100 (partie-par-trillion) H2O, O2
Modèle SS200MZ : <1 ppb H2S, H2O, CO2, amines, gaz acides, et alcools ; <100 ppt NOx ; NH3 du ppt <10 ; <1 ppt NMHC, siloxane, SO2
Filtration de particules de sortie :
μm 20
Différence de pression maximum :
kPa 1379 (200 Psid)
Pression de fonctionnement minimum :
kPa 101 (14.7 lb/p0 carré a.)
Débit maximum :
20000 SLPM
Débit nominal :
3500 SLPM
Estimation de fuite :
4 atmosphères cc/sec du × 10-9.
Défi maximum d'admission du contaminant pour maintenir l'efficacité de produit :
10 pages par minute (partie-par million)
Vie :
Un an au débit nominal avec le défi d'admission de 1 page par minute de l'humidité
Température de fonctionnement maximum :
65°C (149°F)
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