Épurateurs de gaz d'hydrure de GateKeeper®
Purification rentable et favorable à l'environnement de gaz
Conçu pour l'usage avec du NH3, l'AsH3, le PH3, le SiH 4, et le GeH4. Les épurateurs enlèvent l'O2, le CO2, le H2O et les niveaux secondaires-ppb de sous-produits d'oxydation (partie-par-milliard).
Gardes contre la percée en bloc d'épurateur de gaz, transitoires d'impureté des réservoirs de stockage liquides, changeouts de cylindre et contaminants inattendus dans le processus
Ne libère pas les hydrocarbures qui peuvent souiller le processus
Technologie de purification de la température ambiante d'utilisations - aucune puissance ou chaleur requise
Baisse de basse pression à travers des épurateurs
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