Épurateurs de gaz corrosifs de GateKeeper®
Purification rentable de gaz
Fournit uniformément le gaz d'ultrapure
Conçu pour l'usage avec du HCL, le Cl2, le HBr, le BCl3, le SiCl4 et le SiF4. Les épurateurs enlèvent l'humidité sur le ppb <1 (partie-par-milliard) en N2.
Gardes contre la percée en bloc d'épurateur de gaz, transitoires d'impureté des réservoirs de stockage liquides, changeouts de cylindre et contaminants inattendus dans le processus
Ne libère pas les hydrocarbures qui peuvent souiller le processus
Technologie de purification de la température ambiante d'utilisations - aucune puissance ou chaleur requise
Baisse de basse pression à travers des épurateurs
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