Purificateurs de gaz GateKeeper® ; Série HX
Contrôle de pureté supérieur aux niveaux ppt
La purification des gaz améliore l'uniformité du procédé, augmente le rendement du produit et prolonge la durée de vie de l'outil
Ne libère pas d'hydrocarbures susceptibles de contaminer le procédé
Régénérable &ndash ; élimine les problèmes d'élimination
Facile à installer sans pièces mobiles et sans besoin de chaleur ou d'électricité
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