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Groupe de dégazage LiquidLens™ LLD2
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Description
LiquidLens™ LLD2 Système de dégazage UPW LLD2
Dégazage UPW pour scanners lithographiques à immersion
Le système LiquidLens LLD2 assure la stabilité et la pureté de la lentille liquide en réduisant les gaz dissous et en contrôlant la qualité UPW
Maintient en continu la température et le niveau de pression ciblés du flux de sortie UPW
Assure la sécurité du processus et de la machine grâce à des alarmes de sécurité et des détecteurs de fuite
Fournit une surveillance en temps réel des paramètres critiques sur l'outil et sur le système de surveillance central du client.
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.