Filtre à gaz Wafergard® III NF-30
à particulesà membraneen ligne

Filtre à gaz - Wafergard® III NF-30 - Entegris - à particules / à membrane / en ligne
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Caractéristiques

Produit filtré
à gaz, à particules
Élément filtrant
à membrane
Autres caractéristiques
en ligne, haute température
Pression de fonctionnement

Max: 70 bar
(1 015,264 psi)

Min: 10 bar
(145,038 psi)

Taille de filtration

0,003 µm

Description

Filtres intégrés du gaz NF-30 de Wafergard® III Filtration particulaire supérieure pour la filtration de système de gaz d'ultrapure Le plus propre, la plupart des filtres entièrement métalliques efficaces disponibles La membrane brevetée de filtre de nickel offre la résistance à la corrosion supérieure et l'excellente compatibilité avec les gaz inertes et réactifs. (Non recommandé pour l'usage avec la Co, l'O3 et les gaz de bas niveau de dopant d'hydrure.) Idéal pour des applications de température et de dynamique-pression Typiquement utilisé pour des écoulements jusqu'à 30 SLPM Matériaux : Élément filtrant : Filtre de membrane breveté et aggloméré de nickel. Logement : Logement d'acier inoxydable d'Electropolished F20 Intérieur extérieur de finition : Ra du μin <=5 Estimation de fuite d'hélium : 2 `qualifié 10-10 atmosphère-cc/sec. Examiné 1 `10-9 atmosphère-cc/sec. Propreté descendant : Particles1 : Moins de 0.03 particule/litre (μm =0.003 Conditions de fonctionnement : Pression d'admission maximum : barre 70 (1000 livres par pouce carré) à 100°C Différence de pression maximum vers l'avant/inverse : barre 10 (150 Psid) Température de fonctionnement maximum : Gaz inertes 400°C à la barre 35 (500 livres par pouce carré) ; Gaz corrosifs et réactifs : 50°C à la barre 70 (1000 livres par pouce carré)

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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.