Filtre à air SilverSet™

à charbon actifpour applications chimiquesplissé

Filtres chimiques de SilverSet™ pour le logement E2600 Les systemes optique avancés de module de balayage et résistent à la protection Les médias de charbon actif dans des filtres d'admission empêche la conversion de PGMEA en acide acétique, qui peut causer le vernis photosensible traitant la variation et la corrosion de matériel La configuration de filtre d'Asymetric empêche la conversion de HDMSO en TMS, qui cause la contamination d'objectif de module de balayage Les filtres hybrides contenant le carbone haut-activé plus des médias plymetric avancés enlève une gamme complète des contaminants comprenant des acides, des bases et des produits organiques condensables la vie de deux ans de filtre à l'efficacité de déplacement de >99% pour des acides, des bases et des produits organiques condensables dans le compartiment typique de photo de cleanroom conditionne La conception plissée de filtre dans l'armature rigide et profonde optimise la superficie de composant actif pour l'utilisation et l'efficacité maximum La disposition périodique de filtre avec des ports de prélèvement d'interstack fournit les niveaux multiples de la protection et tient compte de la surveillance d'exécution de filtre et de la détection tôt de percée Exécution chimique de filtration validée par des services d'Entegris Analytical, fournissant l'assurance que toutes les réclamations d'exécution de filtre sont vérifiées avec des données de soutien.