La série 12 est un régulateur de détente IGS/VCR® miniature ultra haute pureté. Il présente une finition de 5 Ra ou 10 Ra micro-pouces, une membrane cintrée et une conception interne sans ressort ni filetage. Il fournit des pressions amont de 10,3 bar, une pression aval à partir de 250 mm Hg-1,0, 2,1, 4,1, 6,9 bar avec des débits atteignant 120 LS/min. Idéal pour une utilisation avec outils OEM, coffres à gaz et armoires à gaz basse pression.
Spécifications
Matériau
-Membrane : Hastelloy®
-Siège : PCTFE
-Tige de la vanne : Hastelloy®
-Autres composants : acier inoxydable 316L VAR
Capacité de débit
-Standard : Cv = 0,04
-Débit élevé : Cv = 0,08
Poids
-VCR®, IGS : 0,3 kg
-Style A : 0,5 kg
Informations supplémentaires
-Pour des modifications personnalisées ou une solution système complète, veuillez contacter votre bureau de vente local.
Caractéristiques
-Produit de qualité pour les systèmes à gaz de pointe des équipementiers
-La régulation de pression ultra sensible améliore les performances MFC
-Des performances supérieures dans une vaste gamme d'applications
-Débits de 2 SCFM jusqu'à 120 LS/min
-Une précision et une répétabilité inégalées dans un micro-composant
-Membrane métal/métal sur joint du corps pour une intégrité élevée en cas de fuite
-Finition de surface interne de 10 Ra ou 5 Ra micro-pouces
-Respecte les spécifications d’interface modulaire SEMI F19 et SEMI