Table rotative à coussin d'air EZ-0779

électriqueinclinable

La table rotative EZ-0779, dotée d'une capacité de charge axiale élevée et d'un mouvement d'erreur axial/radial inférieur à 100 nm, a été développée à l'origine pour le traitement des plaquettes de silicium ; elle convient à un large éventail d'applications. La table rotative à entraînement direct est équipée d'un puissant moteur-couple refroidi à l'eau. En option, une traversée rotative avec jusqu'à 6 canaux d'air/vide peut être intégrée. Le système de mesure (Numerik Jena RIK4) de 18 000 lignes peut être fourni avec un facteur d'interpolation de 5, 10, 50 ou 100. Les valeurs d'interpolation faibles permettent des vitesses plus élevées, les valeurs d'interpolation plus élevées augmentent la répétabilité. Il n'y a aucune restriction quant à la position d'installation. Applications : Meulage de plaquettes, amincissement de plaquettes, systèmes de test, applications avec des exigences élevées en matière de synchronisation et/ou de précision de positionnement