Axe linéaire à moteur linéaire EZ-5504

de précisioncompactréglable

Avec l'axe de focalisation EZ-5504, EIZENBERGER a mis en œuvre un concept d'axe entièrement nouveau et innovant. Les caractéristiques extérieures sont des dimensions compactes de 99 x 99 x 80 mm (L x L x H) et une ouverture centrale continue d'environ 35 mm pour les composants optiques. Le palier à air sans glissement permet une précision maximale sur toute la plage de course de 18 mm et une répétabilité de l'ordre du nanomètre. Outre l'erreur de position extrêmement faible, la faible erreur d'inclinaison de l'axe est particulièrement remarquable. L'axe de focalisation est doté d'une compensation de poids magnétique permanente et conçu pour une charge utile de 250 g. La compensation de poids est réglable pour des masses de 50 à 300 g. L'axe de focalisation peut être déplacé dynamiquement grâce à un moteur à bobine mobile. Une tête de mesure Renishaw avec une résolution de 1 nm et une interface BiSS-C est utilisée comme système de mesure. Applications : L'axe de focalisation convient aux applications de haute précision dans les domaines de la lithographie, de l'exposition de masques, des applications de balayage ou, plus généralement, du positionnement d'optiques et de capteurs. Grâce à ses dimensions compactes et au faible poids du système, l'axe peut être facilement intégré dans de nombreuses applications. Le palier à air et les matériaux utilisés prédestinent l'axe de focalisation aux applications en salle blanche.