Platine de positionnement XY EZ-0745-ZC

Zrotativeà moteur linéaire

L'axe ZC à coussin d'air EZ-0745 est destiné à être intégré dans une platine XY (par exemple EZ-0715). Grâce à sa conception hautement intégrée, il ne nécessite qu'une faible hauteur totale d'environ 138 mm. L'angle de rotation est limité à ± 3°. Une répétabilité élevée de ± 1,5 μrad permet un alignement très précis du substrat. L'axe Z est protégé contre la rotation par 2 coussinets à air et est entraîné dynamiquement par 2 bobines acoustiques opposées. Un cylindre pneumatique à coussin d'air est intégré pour le découplage du poids. La course de l'axe Z peut être réglée individuellement, en fonction des besoins du client.