Pompe à vide turbomoléculaire iXL

sèchemono-étagéeplasma

La gamme iXL se compose de pompes sèches compactes à faible consommation énergétique destinées à des applications légères telles que la manipulation de plaquettes, le PVD et la métrologie. Pompage de chambre rapide et très faible consommation électrique Les pompes sèches iXL600(N) et iXL1000(N) font partie des modèles les plus compacts et les plus silencieux destinés aux applications légères Les modèles iXL600M et iXL1000M ont fait l'objet d'un durcissement et ont été spécialement conçus pour la gravure (oxyde) diélectrique et d'autres applications similaires Les pompes sèches iXL600(N) et iXL1000(N) affichent des vitesses de pompage élevées et une faible consommation énergétique La pompe de sas iXL900R est actuellement la plus rapide de sa catégorie pour des applications de sas FPD. Cette nouvelle pompe permet aux clients de réduire considérablement leurs coûts de fonctionnement et leurs temps d'installation, car elle est particulièrement bien adaptée aux chambres de sas les plus grandes utilisées dans le cadre d'applications de dépôt en phase vapeur activé par plasma (PVD). En outre, les clients auront besoin de moins de pompes par chambre de sas, réduisant ainsi le temps d'installation, les coûts de systémisation, l'entretien et la consommation énergétique. Un mode écologique permet de réduire la consommation énergétique pendant les périodes de veille, faisant ainsi baisser les coûts de fonctionnement et améliorant vos performances environnementales.