Four tubulaire TubeStarde recuitde pyrolyseélectrique
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Caractéristiques
- Configuration
- tubulaire
- Fonction
- de recuit, de pyrolyse
- Source de chaleur
- électrique
- Atmosphère
- sous vide, sous atmosphère contrôlée, sous gaz inerte, sous azote, à l'hydrogène
- Autres caractéristiques
- automatique, compact, programmable, horizontal, sur mesure, de laboratoire, industriel, pour l'industrie électronique, pour circuit imprimé
- Température max.
Max: 1 200 °C
(2 192 °F)Min: 0 °C
(32 °F)
Description
La plateforme TubeStar est une installation de type four tubulaire “batch”. Ce système a été conçu pour des applications de diffusion, d’oxydation et de dépôt avec une prise en compte des besoins des plateformes d’ingénierie procédé. La gamme TubeStar est modulaire et flexible. En effet, elle peut être composée d’un à quatre tubes indépendants, avec une capacité maximale de 50 wafers par tube.
LES PLUS, LES BÉNÉFICES
La plateforme TubeStar excelle dans le traitement de petites quantités de wafers, mais est également adaptée au traitement de plus gros lots grâce à sa flexibilité et modularité. Les fours tubulaires de la gamme TubeStar ont prouvé leur efficacité lors de la qualification de procédés pour l’industrie photovoltaïque, notamment pour les lignes de fabrication PV.
Une des caractéristiques principales de ce four tubulaire réside dans le haut niveau de précision des traitement thermiques combinés à de hauts besoins de flexibilité et de modularité. Cela permet de couvrir un large spectre d’applications.
APPLICATIONS POSSIBLES
Diffusion
LPCVD
Oxydation
Catalogues
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* Les prix s'entendent hors taxe, hors frais de livraison, hors droits de douane, et ne comprennent pas l'ensemble des coûts supplémentaires liés aux options d'installation ou de mise en service. Les prix sont donnés à titre indicatif et peuvent évoluer en fonction des pays, des cours des matières premières et des taux de change.