Four à cloche HICON

de traitement thermiquede recuità gaz

Les feuilles d'aluminium destinées à l'industrie électronique doivent répondre aux exigences de qualité les plus élevées. Seul l'aluminium de la plus haute pureté est utilisé pour la fabrication de feuilles à haute capacité. La pureté de l'aluminium augmente en fonction de la tension de fonctionnement. Pour les applications à basse tension, la qualité AI3N8 est suffisante, tandis que les hautes tensions nécessitent AI4N (AI 99,99 %). Une atmosphère extrêmement pure est utilisée pendant le recuit pour obtenir une couche uniforme d'Al2O3 sur la surface de la feuille, ce qui favorise la gravure au tunnel au cours des processus ultérieurs. Le matériau est traité à des températures de recuit comprises entre 550 °C et 620 °C, et le point de rosée de l'atmosphère doit être inférieur à -30 °C. Pour répondre à ces critères stricts, le recuit doit avoir lieu dans un four doté d'une cornue à la fois étanche au gaz et au vide. Un recuit à cloche HICON est idéal pour cette application. Les recuits à cloche HICON se distinguent par les caractéristiques suivantes : Surfaces métalliques conçues pour le vide moyen Gradients de chauffage et de refroidissement flexibles dans le vide ou l'atmosphère du processus Espace de travail étanche aux gaz et au vide