Platine XYZ

linéairepiézoélectrique3 axes

étape triaxiale pour le vide Quand un des clients de DSM a exigé un système de positionnement gyroscopique fait sur commande, DSM est accru la conception flexure-basée de ses déclencheurs piézo-électriques de flextensional pour créer les étapes indépendantes de X, de Y, et de Z. Le X et le Y en résultant présente chacun fournissent 200 microns de voyage, et l'axe de Z a une course de 500 microns. L'étape originale a été conçue pour la compatibilité de vide et a été équipée de modèles de benchtop de l'amplificateur piézo-électrique linéaire du VF de DSM. La conception de base des systèmes d'étape est extensible à plus petites/plus grandes possibilités de déplacement. Comme une suite livrable au système original et de boucle ouverte de XYZ ci-dessus, le client de DSM a demandé des possibilités en circuit fermé pour le X et les axes des ordonnées. DSM a incorporé les sondes capacitives et a utilisé les amplificateurs SA-100 servo linéaires pour fournir la servocommande autonome. Des 24 entrées analogiques de bit acceptent le signal de cible de position, et l'entrée-sortie numérique fournit des drapeaux pour la « dans-gamme » et les déclenchements par acquisition de données.