Platine de nanopositionnement Z Model ZSA-1000C

verticalepiézoélectrique1 axe

L'étage nanopositionneur piézoélectrique ZSA-1000C de DSM est doté d'un mouvement guidé par flexion sur une course verticale de 1 mm pour les processus de balayage, de métrologie et d'inspection. La conception cinématique stable et rigide favorise le parallélisme dans le mouvement de sortie avec un minimum de roulis et d'inclinaison ainsi qu'une réactivité dynamique pour une excellente stabilité de position et de contrôle. La platine peut être couplée au SA-500 de DSM pour le contrôle en boucle fermée avec une sonde capacitive à haute résolution pour fournir une stabilité de position de 20 nm et des profils de vitesse très stables sur des zones de balayage spécifiques. - Course en boucle ouverte : 1050 microns ± 10% - Course en boucle fermée : 1000 microns ± 10% - Résolution en boucle fermée : 20 nanomètres typique Rigidité : 0,4 N/micron ± 10% - Linéarité : 0,12% typique - Runout (Ɵх, Ɵу) : <100 microradians typiques - Fréquence de résonance à vide : 200 Hz ± 10% - Fréquence de résonance @100g : 150 Hz ± 10 - Force de traction et de poussée : 75/150 N maxi - Capacité de charge : 75 N Max - Force latérale : 10 N maxi - Capacité électrique : 30 micro Farads ± 10 - Largeur x Longueur : 62,5 x 125 mm - Hauteur : 25,1 ± 0,1 mm - Messe : 1 kilogramme ± 10 % - Matériau : Acier inoxydable - Longueur du câble : 1,5 mètres La structure du ZSA-1000C s'adapte facilement à l'utilisation d'une variété de capteurs de déplacement, y compris des sondes capacitives (standard) pour une véritable capacité de contrôle de mouvement par nanopositionnement. Le servovariateur SA-500 de DSM offre une régulation autonome en boucle fermée avec communication série, rétroaction analogique ou numérique et E/S numériques pour des fonctions de commande et de communication supplémentaires.