L'UNITÉ PLASMA DE LABORATOIRE LOW COST ZEPTO avec commande manuelle PC et PCCE est principalement utilisée dans les secteurs suivants :
Production en petites séries, Analytique (MEB, MET), Technologie médicale, Stérilisation, Services de recherche et développement, Archéologie, Ingénierie textile, Plasturgie
Équipement de base
La taille de l’équipement varie en fonction des composants/options
Volume de chambre : 1,7 - 2,6 litres, suivant la version
Alimentation en tension : 230 V
Alimentation en gaz
Vannes à aiguille
Débitmètre massique (Mass-Flow-Controller (MFCs))
Chambres sous vide
Verre borosilicate (UHP) cylindrique avec couvercle (env. ∅ 105 mm, L 200 mm ou L 300 mm)
W6 (env. ∅ 160 mm, L 180 mm)
Chargement
Support de pièce : tôle d'aluminium, tôle en acier inoxydable, verre borosilicate
Électrodes
Un ou plusieurs niveaux
Une paire d'électrodes à l'extérieur de la chambre sous vide
Systèmes de commande
Manuel
Commande PCCE (Microsoft Windows CE)
Bouton rotatif
Mesure de pression
Pirani
Minuterie
numérique
analogique
Générateurs
Fréquences :
40 kHz Puissance 0 - 100 W
13,56 MHz Puissance 0 - 200 W
Autres options
Kits de pièces de rechanges, Manomètre, Version gaz corrosifs, Bouteilles de gaz, Réducteur de pression, Cage de Faraday, Accessoires pour polymérisation plasma, Encres de test, Générateur d'oxygène, Aération lente, Pompage lent, Maintenance/Service, Documentation dans la langue nationale, Installation sur site y compris formation. Autres options sur demande.