Système robotisé Versa

La plateforme cluster Versa, propriété de Denton Vacuum, est une option frontale automatisée pour la fabrication de gros volumes. Elle peut être configurée avec jusqu'à deux sas de chargement de cassettes et six chambres ou modules de revêtement. Un robot manipulateur de semi-conducteurs déplace les substrats des sas vers les modules pour les revêtir de plusieurs couches de matériaux différents sans rompre le vide. La Versa est conçue pour fonctionner avec des modules de traitement de 200 ou 300 mm. Elle est compatible avec le module de pulvérisation Discovery et le système PE-CVD Voyager, et dispose de modules de gravure par pulvérisation et d'options de métrologie dédiés. Un module de pré-nettoyage dédié est également disponible, ainsi que le conditionnement du substrat. Pour permettre la production de gros volumes pendant le dépôt de couches minces, la Versa fonctionne avec le logiciel ProcessPro-HV de Denton, qui utilise un planificateur de matériaux et un gestionnaire de recettes entièrement automatisés pour charger les modules et exécuter les étapes du processus dans plusieurs chambres avec précision et efficacité. ProcessPro-HV est conforme à la norme SEMI E95 et comprend un système complet d'enregistrement des données et de création de graphiques pour le contrôle et l'analyse des processus. La Versa permet une plus grande efficacité de production pour répondre à des exigences de débit plus élevées. Elle automatise le processus de chargement afin que vous puissiez maximiser l'efficacité, et est compatible avec le dépôt de métal et d'oxyde. La configuration multi-chambres vous permet de revêtir plusieurs couches à la fois sans rompre le vide, et vous pouvez gagner du temps en ventilant uniquement le verrou de chargement de la cassette au lieu de l'ensemble du module de pulvérisation.