Machine de dépôt par pulvérisation cathodique à magnétron Discovery Isoflux

La pulvérisation magnétron cylindrique inversée, ou pulvérisation ICM, est une technique brevetée de dépôt de couches minces qui permet de revêtir les films avec une excellente uniformité, quelle que soit la géométrie du substrat. La pulvérisation ICM suit les mêmes étapes du processus que la pulvérisation magnétron classique. Lorsque des ions chargés positivement provenant d'un plasma généré entrent en collision avec une cible polarisée négativement, des atomes sont éjectés ou pulvérisés sur le substrat pour créer un film mince. Une configuration typique de pulvérisation magnétron utilise des cathodes planes, tandis que la pulvérisation ICM utilise une cathode cylindrique. Le substrat se trouve à l'intérieur du cylindre et, au lieu de pulvériser vers le haut ou vers le bas, la cathode cylindrique pulvérise vers l'intérieur du substrat. Cette géométrie permet d'obtenir un degré élevé d'uniformité sur des substrats 3D ou incurvés, sans sacrifier la vitesse de dépôt ni ajouter d'étapes de processus pour la rotation. La pulvérisation magnétron cylindrique inversée est une excellente option pour les applications qui nécessitent des revêtements uniformes sur des substrats courbes, 3D ou complexes. La pulvérisation ICM offre la répétabilité nécessaire pour les optiques de précision et fournit un processus plus rationalisé pour le revêtement des lentilles et autres surfaces courbes. En général, il faut ajouter une rotation ou un mouvement planétaire pour s'assurer que toutes les faces sont revêtues, mais cela ralentit le processus et rend le revêtement compliqué. En pulvérisant toute la surface en une seule fois, la pulvérisation ICM réduit la complexité tout en obtenant une uniformité et un contrôle plus étroits. Outre l'optique de précision, la pulvérisation ICM offre également une uniformité d'épaisseur très élevée pour les revêtements de dispositifs médicaux, tels que les implants. La fiabilité est essentielle pour ces applications afin de protéger la sécurité des patients.