Idéal pour les tests en laboratoire, les prototypes et les petites séries de production.
Configuration compacte et efficace.
Parfaitement adapté pour :
Les circuits imprimés et les capteurs de petite taille (par exemple, dans l'électronique, les applications médicales, etc.)
Wafers jusqu'à ø 150 mm (6 pouces)
Dimensions totales (L x l x H) - 1600 x 1300 x 1600mm
Poids - 200 kg
Taille de la chambre - ∅ 250 x 264 mm
Taille de l'outillage - ∅ 226 x 240 mm
Charge maximale de l'outillage - 30 kg
Capacité de charge du dimer - 90g
Capacité de pompage - 25 m3/h
Alimentation électrique requise - 3 x 400V + N + PE - 50 Hz
3 x 25A - 15kW
Parylène transformable - Type : C, D, N, F-VT4, F-AF4
Chambre thermalisée - plage de température - 20 - 30°C
Options - Compatible avec toutes les options
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