Système laser à excimer LineBeam

pulséà état solideultraviolet

Les systèmes LineBeam constituent la technologie optique de base pour la fabrication en masse de fonds de panier LTPS sur de grands panneaux de substrat avec un rendement maximal. Ils fournissent des profils de faisceaux linéaires d'une longueur allant jusqu'à 1500 mm pour des tailles de panneaux allant jusqu'à Gen 10.5. Ils présentent une homogénéité du faisceau sur les axes courts et longs pour un débit et une utilisation du faisceau maximums. La stabilité supérieure des impulsions et la grande profondeur de champ garantissent une large fenêtre de traitement. LINEBEAM - QUELQUES MESURES DE PERFORMANCE CLÉS Bénéficiez du profil de faisceau "top hat" de LineBeam, avec une excellente homogénéité dans les axes courts et longs, le tout à une longueur d'onde courte de 308 nm ou 355 nm.