Régulateur de débit électronique CFC - Flow Controllers

à pression différentielleen boucle ferméepour gaz

Contrôle précis et linéaire du flux dans un système en boucle fermée avec une résolution et une répétabilité ultra élevées. Le régulateur de débit Cordis utilise un capteur de technologie mems à réaction extrêmement rapide en amont d'une vanne proportionnelle, avec l'option d'un régulateur DR-2 pour un contrôle précis et exact de la pression dans un petit boîtier. Contrairement aux autres régulateurs de débit massique qui nécessitent un temps de préchauffage de 30 minutes, des pressions différentielles importantes et des plages de débit limitées, le Cordis nécessite moins d'une minute de préchauffage, sa chute de pression est de ≤14" H2O, et il présente des plages de débit aussi faibles que 0 à 30 sccm. Les options de contrôle standard comprennent des séries de 0,2 à 10 VDC, 4,32 à 20 mA et 3,3 VDC. Avantages principaux de Cordis : - Ratio de refus de 50:1 - Taille et poids compacts - ≤14" Chute de pression de H2O - <1 minute d'échauffement - Plusieurs plages de débit faible - Temps de réponse <50 ms - ≤25 mV résolution - Régulateur intégré en option - Unité de carte de style OEM ou boîtier IP65 pour les applications industrielles légères Le contrôleur de débit Cordis utilise un microcontrôleur, un capteur de débit intégré, un régulateur DR-2 et une vanne proportionnelle. Le gaz d'alimentation est connecté au régulateur qui maintient avec précision la pression au capteur de débit et à la vanne proportionnelle Clippard EVP ou DVP. Lorsque la commande est augmentée, le circuit comparatif ouvre la vanne pour permettre au débit de passer par le capteur de débit embarqué. Cela fournit un signal de retour actif au microcontrôleur pour satisfaire le point de consigne du débit dans le processus. Si, à un moment donné, le capteur de débit détecte une valeur supérieure ou inférieure à la commande du point de consigne, la vanne proportionnelle modulera plus ou moins la sortie pour maintenir un contrôle stable et précis du débit dans le processus.