Système d'inspection optique Phoenix Ultima

3D2Dà balayage

Phoenix Ultima, la dernière génération de système AOI de CIMS, est conçu pour supporter la fabrication en grand volume de substrats IC. Il est capable de scanner jusqu'à une largeur de ligne/espace de 4 µm. La technologie optique de pointe Prisma™ du système est conçue pour fournir une couverture lumineuse flexible avec un contraste maximal afin de soutenir l'acquisition d'images haute résolution à une vitesse de balayage élevée. L'optimisation des performances est obtenue en combinant une image haute résolution nette avec des algorithmes de détection personnalisables. Dotée d'une acquisition d'image de pointe et de capacités logicielles avancées, la famille de produits Phoenix est réputée pour sa détection exceptionnelle obtenue avec un taux de faux appels le plus bas possible. Phoenix Ultima est alimenté par Spark™ - un moteur de détection multiplateforme innovant. Points forts -Moteurs linéaires pour des mouvements fluides et silencieux -Structure mécanique robuste -Table à vide automatisée -Micrologiciel de traitement d'images haute performance -Ordinateur de nouvelle génération pour le traitement de données volumineuses -Configuration rapide et intuitive pour les nouveaux travaux -Compatibilité avec l'automatisation AMHS avant/arrière ou avec un robot Options -Fi - option d'inspection finale pour les cartes finies -+Métrologie 2DM - mesure des dimensions des panneaux -+Métrologie 2CD - Mesure 2D des éléments de circuit -+Métrologie 3DH - mesure en 3D de la hauteur des éléments de circuit -+Métrologie 3DP - profilage 3D de l'élément de circuit -LDI - option d'inspection par perçage laser -CDB/CDBIC - classification des défauts et cartographie virtuelle des défauts -VVS - système de vérification virtuelle