Machine de mesure de rugosité WD4200

d'épaisseuroptiqueautomatique

Le système d'inspection 3D des plaquettes sans motif de la série WD4000 peut mesurer automatiquement l'épaisseur de la plaquette, la rugosité de la surface et la microtopographie 3D micro-nanométrique en même temps. Il utilise des sondes confocales à lumière blanche pour mesurer l'épaisseur de la plaquette, le TTV, le LTV, le BOW, le WARP et la rugosité des lignes ; il utilise une sonde interférométrique à lumière blanche pour scanner la surface de la plaquette et créer une image de profil 3D de la surface, puis analyse la rugosité et les paramètres 2D et 3D pertinents conformément aux normes ISO/ASME/EUR/GBT. La forme 3D basée sur les surfaces supérieure et inférieure de la plaquette est reconstruite par une mesure sans contact. Le puissant logiciel de mesure et d'analyse assure un calcul stable de l'épaisseur, de la rugosité et de la variation totale de l'épaisseur (TTV) de la plaquette.