Le profilomètre optique hybride 3D de la série Superview WT est utilisé pour la mesure sub-nanométrique des surfaces de divers composants et matériaux de précision. Il intègre les caractéristiques de performance de deux instruments de mesure 3D de haute précision, l'interféromètre à lumière blanche et le microscope confocal, et peut effectuer un balayage sans contact de la surface des échantillons puis rétablir l'image de la surface en 3D. Lors de la mesure de surfaces ultra-lisses et transparentes, le mode interférométrie à lumière blanche peut être utilisé pour obtenir des images de haute précision et sans distorsion, et analyser des paramètres tels que la rugosité. Lors de la mesure de surfaces grossières présentant des caractéristiques d'angle aigu, le mode de microscopie confocale peut reconstruire des images topographiques 3D à grand angle, et les paramètres 2D et 3D reflétant la qualité de la surface sont obtenus par le traitement des données et l'analyse des images 3D de la surface à l'aide d'un logiciel.
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