L'étage XY300M-SG comprend des capteurs de positionnement de jauges de contrainte (SG) sur chaque axe ainsi qu'un conditionneur SG intégré sur le circuit imprimé. Ce déplacement d'étage XY300M-SG par axe est valable de -40°C à +65°C. La photo montre l'étage XY300M-SG avec une option de couvercle métallique non détaillée dans le document de contrôle d'interface ci-dessous
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