Scanner 3D

de mesureà lumière blanche

Feturces * - Scanner 3D à micro profondeur * - Mesures de métrologie à grande vitesse et sans contact * - Analyse de surface * - Non-transparent/transparent Applications, * Ecran tactile / Panneau solaire / Wafer * - Micro-électromécanique (MEMS) * - Circuit imprimé haute densité * - Boîtier de CI * - Diverses fonctions de mesure : contour de la microstructure, taille, profondeur de l'holc, épaisseur du film défectueux, différence de hauteur, angle, rugosité, planéité -Comment cela fonctionne- La lumière blanche est à gradation courte - Les meilleures franges d'interférence ne se produisent que dans la position de mise au point, l'interférence causée par la lumière hors de la mise au point et la lumière parasite est exclue, et la position de la meilleure frange d'interférence est enregistrée avec la "caméra CCD de type surface à grande vitesse". Aucun balayage point par point n'est nécessaire, et le "scanner vertical" est utilisé pour déplacer l'objectif afin d'enregistrer la position en hauteur, la topographie de surface 3D de l'objet à mesurer peut être reproduite.