Spectromètre de masse IMS 7f-Auto

de masse à ionisation secondairepour l'industrie des semi-conducteursPMT

Outil SIMS polyvalent : Sensibilité de détection de référence avec haut débit et automatisation complète L'IMS 7f-Auto est la dernière version de notre gamme de spectromètres de masse à ions secondaires (SIMS) IMS xf. Conçu pour fournir des analyses élémentaires et isotopiques de haute précision avec une facilité d'utilisation et une productivité accrues, il a été optimisé pour des applications exigeantes telles que le verre, les métaux, la céramique, les dispositifs à base de Si, les dispositifs III-V et II-VI, les matériaux en vrac, les films minces... répondant aux exigences industrielles de développement et de contrôle des processus efficaces. Caractéristiques analytiques clés pour résoudre un large éventail de problèmes analytiques L'IMS 7f-Auto offre des capacités inégalées de profilage en profondeur avec une résolution en profondeur élevée et une plage dynamique élevée. Le spectromètre de masse à haute transmission est combiné à deux sources d'ions réactifs à haute densité, O2+ et Cs+, fournissant ainsi un taux de pulvérisation élevé et d'excellentes limites de détection. Une conception optique unique permet à la fois la microscopie ionique directe et l'imagerie par microsonde à balayage Amélioration de l'automatisation et de l'efficacité opérationnelle L'IMS 7f-Auto est équipé d'une colonne primaire en ligne redessinée pour un réglage plus facile et plus rapide du faisceau primaire et une stabilité optimale du courant du faisceau primaire. De nouvelles routines automatisées minimisent les biais liés à l'opérateur et améliorent la facilité d'utilisation. Une chambre de stockage motorisée avec chargement / déchargement automatisé des porte-échantillons assure un débit élevé grâce au chaînage d'analyse et au fonctionnement à distance.